什么磨边轮胎体粉耐磨性好
发布时间:2018-10-08
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深反应离子刻蚀(drie)可以对单晶金刚石进行精密加工,制造出独立的微机械元件。由于其高硬度和刚度以及低机械摩擦,金刚石是纳米和微米级元件*具吸引力的材料。然而,由于现有技术的限制(包括浅蚀刻深度和粗糙表面),金刚石的反应离子蚀刻技术一直有一定难度。日前,由瑞士洛桑理工学院的niels quack研究组开发出了一种深反应离子蚀刻的工艺,该工艺采用三层al/sio2硬掩模,可实现>30μm/ h的蚀刻速率和*的特征尺寸控制。他们做出的单晶金刚石手表组件厚度为150微米,表面粗糙度在200纳米以下。这种新方法为大批量精密制造金刚石部件打下了基础。
郑州大学物理工程学院单崇新教授组建了以研究金刚石半导体性能为主要研究方向的课题组,对金刚石材料和器件展开了系统研究,并在大尺寸、高质量单晶金刚石制备及其日盲紫外探测器件制备方面取得一定进展,近期,单崇新教授团队受邀为advanced optical materials杂志撰写相关综述:“optoelectronic diamond: growth, properties, and photodetection applications”,该文章详细介绍了近年来人们在金刚石大尺寸单晶制备、金刚石基光电探测器件制备及其应用领域取得的研究进展。
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